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双层洁净无氧烘箱

产品详情


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适用于半导体晶圆后段晶圆片清洗之后的软烤，硬烤，电镀工艺，采用SUS304洁净不锈钢材质，进口超高效H.E.P.A过滤器，自动开关风门结构，通过内部不断循环过滤，不断过滤内部partical快速形成无氧洁净环境，机台采用大功率三相静音低震动马达，不锈钢涡轮扇叶，独特设计涡轮结构，结合双循环风道，形成风量均匀的循环热风，实现高洁净，温度均匀的无氧烘烤环境，确保烘烤物料受热均匀，无氧化现象发生。

技术参数
设备型号FDC-2FDC-3FDC-4FDC-5FDC-2DFDC-3D
控温范围50~200℃(最高可订制400℃）
温度分辨率0.1℃
温度波动度±0.5℃
温度均匀度±1.5%（200℃恒温空载测试数据）
洁净度class10/100/1000
过滤器效率H13~H14
内部尺寸mmW600*D500*H600W600*D500*H900W800*D600*H1000W800*D800*H1000(W600*D600*H500)*2箱(W400*D400*H400)*3箱
外部尺寸mmW950*D1180*H1410W950*D1180*H1710W1060*D1280*H1810W1060*D1480*H1660W1630*D1220*H1780W1430*D1020*H1880
层架2PCS4PCS
电源AC 220V 50HZAC 380V 50HZ
功率7KW9KW12KW16KW16KW18KW
定时范围0~99H/M/S
送风方式单向水平送风
升温时间RT~200℃约20min
控温方式P.I.D
结构设计单门，控制柜位于顶部多仓，控制柜位于侧面
内部材料SUS304#
外部材料钢板烤漆-拉丝或镜面不锈钢
安全保护措施1.接地保护 2.过载保护3. 相序保护 4.超温保护 5. 独立限温保护
选配7寸触摸屏HMI人机界面控制器（带历史曲线，USB转存储功能，配套PC端软件及联网端口），φ25mm/φ50mm/φ100mm测试孔           电磁门禁系统，温度校准，非标订制服务。 


0512-55272866